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  美國(guó)lesker提供具有用于生產(chǎn)和研究應(yīng)用程序的機(jī)器人轉(zhuǎn)移的單室沉積系統(tǒng)或群集工具，以及對(duì)過程，應(yīng)用，機(jī)械，機(jī)械，電氣和軟件工程的廣泛了解。

  CFT05V1253型美國(guó)lesker法蘭真空陶瓷斷裂原因分析如下：

機(jī)械應(yīng)力集中?

CF法蘭采用金屬靜密封設(shè)計(jì)，其刀口結(jié)構(gòu)在安裝時(shí)可能對(duì)陶瓷部件產(chǎn)生局部應(yīng)力，若陶瓷材料存在微裂紋或厚度不均，易在應(yīng)力集中處斷裂?。

Lesker法蘭的陶瓷饋通件通常需承受高真空環(huán)境（10^-12 mbar）和高溫烘烤（250℃以上），材料熱膨脹系數(shù)不匹配會(huì)加劇應(yīng)力?。

?熱沖擊或溫度梯度?

陶瓷材料（如氧化鋁）在快速升溫/降溫時(shí)易因熱應(yīng)力開裂。若真空系統(tǒng)烘烤程序未按規(guī)范操作（如升溫速率過快），可能導(dǎo)致陶瓷斷裂?。

?材料缺陷或工藝問題?

陶瓷內(nèi)部氣孔、雜質(zhì)或燒結(jié)不均勻會(huì)降低機(jī)械強(qiáng)度，在真空環(huán)境下可能引發(fā)微裂紋擴(kuò)展?。

Lesker法蘭的陶瓷部件需滿足超高真空兼容性，若材料質(zhì)量不達(dá)標(biāo)（如未使用無(wú)氧銅密封或高純度陶瓷），斷裂風(fēng)險(xiǎn)增加?

  CFT05V1253型美國(guó)lesker法蘭真空陶瓷斷裂規(guī)格：

除非另有說(shuō)明，否則下表中列出的所有維度為英寸。

電壓（KVDC）：5

袖子材料：科瓦爾

絕緣材料：氧化鋁

熱范圍（°C）：-55至450

法蘭安裝：DN35CF-DN40CF（OD為2.75）

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