8921SC13型美國BIRD油電射頻終止載荷產(chǎn)品介紹
8921SC13型美國BIRD油電射頻終止載荷產(chǎn)品介紹如下：
為了最大限度地提高工藝的重復(fù)性和一致性,現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)、調(diào)節(jié)和監(jiān)控是確保射頻電源準(zhǔn)確、可重復(fù)地向腔室輸送射頻電源的關(guān)鍵組成部分。當(dāng)使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時,VSWR目前提供超穩(wěn)定、低VSWR負(fù)載,用于快速和精確地測量發(fā)電機輸出功率。8921SC13不僅提供低VSWR,而且在過程臨界頻率下,VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準(zhǔn)時間不同,沒有必要進(jìn)行負(fù)載熱身或重復(fù)性風(fēng)險。這可以最小化與此校準(zhǔn)相關(guān)的錯誤,并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。
功率等級5千瓦頻率范圍及VSWR直流至28兆赫@最大1.1兆赫。
不足1.05:1阻擋物50 (nominal)Vswr穩(wěn)定性0-100%的穩(wěn)定頻率功率穩(wěn)定頻率13.56兆赫+10千赫連接器"QC" Type LC (Female) - normally supplied互鎖熱開關(guān)-可選一般都是封閉的。在236℃(457華氏度)開放熱開關(guān)等級115伏,10a
230真空,5a溫度范圍操作: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F)
儲存: – 40 to +45 °C (– 40 to +113 °F)高度1520 m (5000 ft.)潮濕95%不凝結(jié)最大值。冷卻法石油介質(zhì)和對流電流尺寸32.8" x 9.5" x 26.9"
832x241x681毫米重量126 lbs.
57千克結(jié)束環(huán)氧樹脂
東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司，廠家一手貨源，詳請致電。
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